簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "銦".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="離子束濺鍍"


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    離子束濺鍍法沉積氧化銦錫透明導電膜之特性研究
    • 電子工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃堂益 指導教授: 趙良君 林保宏
    • 摘要   本實驗使用反應式離子束濺鍍法來沉積氧化銦錫薄膜於玻璃基板上,在室溫狀態下,分別透過改變氧氣流量、陽極電壓以及基板與靶材距離,來觀察不同製程參數下薄膜特性的變化。隨著氧氣流量增加,氧氣的低濺…
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    • 全文公開日期 2022/03/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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